Halbleiterfertigung

Das Materialmodell von Critical Manufacturing berücksichtigt alle möglichen Material-Träger-Wafer-Konfigurationen sowie die Rückverfolgung einzelner Wafer über verschiedene Equipment-Cluster (Mehrkammer-Anlagen) und unterstützt so sämtliche logische und physische Materialoperationen in einem Halbleiterfertigungsprozess. Es sorgt für reduzierte Work-in-Progress-Bestände und die Umsetzung der Materialroute mit umfassender Materialrückverfolgbarkeit und Genealogie auf Los- oder Wafer-Ebene.

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Das Modul Versuchsmanagement unterstützt sowohl die Versuchsplanung (Design of Experiment, DoE) als auch die Durchführung. Mit diesem Modul ist es möglich, einen Versuch transparent und integriert durchzuführen. Zur Verfolgung von einzelnen Wafern lassen sich innerhalb eines Loses verschiedene Versuche anlegen, indem einzelne Wafer verschiedenen Versuchsgruppen zugewiesen werden, die zur Prüfung einer unbegrenzten Anzahl von Variationen und Abweichungen gegenüber dem Standardprozess (Process of Record) konfiguriert werden können.

Das neue Modul Fabrikautomatisierung ist eine Workflow-Engine auf Fabrikebene, die Fertigungsunternehmen bei der fortschreitenden Erhöhung ihrer Automatisierungskapazitäten, auf dem Weg zur intelligenten Lights-Out-Fabrik, unterstützt. Eine automatische Reaktion auf ein Fabrikereignis oder die Ausführung beliebiger kurz- oder langlaufender Aufträge einschließlich der Steuerung autonomer Transportsysteme sind hier möglich.

Das Modul Rezeptmanagement stellt ein hierarchisches Rezept-Objekt zur Verwaltung von Rezepten und Teilrezepten mit gleichen oder unterschiedlichen Parametern zur Verfügung. Rezepte mit dynamischen Parameterwerten können anhand von einfachen Business-Rules oder einem externen Run-to-Run-System berechnet werden. Das integrierte Modul zur Maschinenintegration Connect IoT erlaubt eine automatische Rezeptauswahl, Upload und Verifizierung vor der Verarbeitung von Chargen.