Eine vernetzte, automatisierte und wissensbasierte Fertigung

Critical Manufacturing MES ist eine integrierte Lösung mit einem breiten Spektrum an vorkonfigurierten Modulen und Funktionen, die auf die Bereiche Prozess- und Anlagentechnik, Qualitätsmanagement, Planung und Logistik sowie Produktionsbetrieb ausgerichtet sind. Die verteilte Architektur und die offene Plattform sind auf eine schnelle Skalierung entsprechend den Fertigungsanforderungen ausgelegt.

Fortschrittliche Funktionalitäten für moderne Fertigung

Critical Manufacturing MES unterstützt die Halbleiterhersteller dabei, Prozessfähigkeit ständig zu verbessern, Kapazitäten und Qualität zu verwalten und gleichzeitig Kosten zu senken. Durch die Ablösung von Legacy-Fertigungssystemen profitieren Unternehmen von fortschrittlichen Funktionen und kann so neue Entwicklungen schneller anstoßen und einen hohen Automatisierungsgrad bei gleichzeitiger Senkung der Kosten erreichen. Unser modulares MES bietet viele Vorteile.

Das Materialmodell von Critical Manufacturing berücksichtigt alle möglichen Material-Träger-Wafer-Konfigurationen sowie die Rückverfolgung einzelner Wafer über verschiedene Equipment-Cluster (Mehrkammer-Anlagen) und unterstützt so sämtliche logische und physische Materialoperationen in einem Halbleiterfertigungsprozess. Es sorgt für reduzierte Work-in-Progress-Bestände und die Umsetzung der Materialroute mit umfassender Materialrückverfolgbarkeit und Genealogie auf Los- oder Wafer-Ebene.

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Das Modul Versuchsmanagement unterstützt sowohl die Versuchsplanung (Design of Experiment, DoE) als auch die Durchführung. Mit diesem Modul ist es möglich, einen Versuch transparent und integriert durchzuführen. Zur Verfolgung von einzelnen Wafern lassen sich innerhalb eines Loses verschiedene Versuche anlegen, indem einzelne Wafer verschiedenen Versuchsgruppen zugewiesen werden, die zur Prüfung einer unbegrenzten Anzahl von Variationen und Abweichungen gegenüber dem Standardprozess (Process of Record) konfiguriert werden können.

Das neue Modul Fabrikautomatisierung ist eine Workflow-Engine auf Fabrikebene, die Fertigungsunternehmen bei der fortschreitenden Erhöhung ihrer Automatisierungskapazitäten, auf dem Weg zur intelligenten Lights-Out-Fabrik, unterstützt. Eine automatische Reaktion auf ein Fabrikereignis oder die Ausführung beliebiger kurz- oder langlaufender Aufträge einschließlich der Steuerung autonomer Transportsysteme sind hier möglich.

Das Modul Rezeptmanagement stellt ein hierarchisches Rezept-Objekt zur Verwaltung von Rezepten und Teilrezepten mit gleichen oder unterschiedlichen Parametern zur Verfügung. Rezepte mit dynamischen Parameterwerten können anhand von einfachen Business-Rules oder einem externen Run-to-Run-System berechnet werden. Das integrierte Modul zur Maschinenintegration Connect IoT erlaubt eine automatische Rezeptauswahl, Upload und Verifizierung vor der Verarbeitung von Chargen.

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Philips versuchte vor der Implementierung von Critical Manufacturing MES bereits seit einigen Jahren, die Arbeitsabläufe mit einer Konkurrenz-Lösung zu vereinheitlichen und hatte damit keinen Erfolg. Das System hat sich als sehr inflexibel für den Front-End-Prozess erwiesen und ermöglichte zudem keine verwertbaren Berichte. Wir mussten einen anderen Kurs einschlagen, mit dem Ergebnis, dass Critical Manufacturing mit seinen fortschrittlichen Funktionen, die speziell für den Einsatz für die Front-End- und Halbleiterfertigung entwickelt wurden, in der Rangliste der möglichen MES-Kandidaten nach oben rückte.

Frank van de Scheur Head of MEMS & Micro Devices | Philips
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Wir haben insgesamt 11 Forschungsinstitute. Wir wollten ein MES, mit dem in allen Instituten die gleiche Datenstruktur angelegt werden kann, um Prozesse teilen zu können. Das bedeutet für uns einen riesigen Vorteil.

Digitalisierung verringert den Aufwand für Prozesse, denn ihre Umsetzung erfordert Zeit und Geld. Alle stecken nun ihre Zeit in die Produktivität.

Frank Hochschulz Project Manager MES Implementation | Fraunhofer Research Fab Microelectronics Germany FMD

Nahtlose Integration von Equipment

In einer Halbleiterfabrik kommen Maschinen unterschiedlicher Anbieter zum Einsatz, die als Prozess-, Mess-, Sortier-, Lager- und Transportsysteme eingeordnet werden. Connect IoT ermöglicht eine nahtlose Anbindung und Integration mit nahezu allen Maschinen, die über Schnittstellen, wie etwa SECS/GEM, OPC-UA und OPC-DA, Dateien oder Datenbanken verfügen. Connect IoT ermöglicht eine automatische Datenerfassung und die Steuerung von Ausrüstung über Befehle zur Einleitung und Ausführung von Prozessschritten.

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Vorteile für Ihre Fertigung

Als MES-Pioniere kennen Halbleiterhersteller oftmals nur ältere Systeme. Critical Manufacturing MES V8 ist ein modernes, konfigurierbares System mit den fortschrittlichen Funktionen, die Innovationen, neue Geschäftsmodelle und Technologien fördern. Profitieren Sie von diesen Vorteilen:

Rückverfolgbarkeit und Transparenz

Durchgängige Rückverfolgbarkeit, Transparenz und schnelle Problembehebung.

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Effizienter Betrieb

Effizienz- und Produktivitätssteigerung zur Verbesserung von Ausbeute und Effizienz (OEE), Verringerung der Work-In-Progress-Beständen und der Durchlaufzeit.

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Schnelle Innovation

Schnellere Produkteinführung (New Product Introduction) und höhere Innovationskraft.

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Leistungsstarke Analytik

Verbesserte Lernfähigkeit dank der leistungsstarken integrierten IoT-Plattform mit fortschrittlichen Analyse- und Machine-Learning-Tools.

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Minimiertes Risiko

Sichere Migration zur Minderung der Risiken durch ein Legacy-MES, mit Unterstützung eines Expertenteams aus dem Bereich Halbleiterfertigung.

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Wettbewerbsvorteile

Erforderliche Agilität, auf Marktveränderungen, Kundenwünsche und F&E-Anforderungen mit soliden Konfigurations- und Rollout-Funktionen zu reagieren.

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