體驗 CM MES 如何支援最先進的製造場景,包括:
• 實驗管理
• 配方管理
• 取決於腔室的配方
• 標線管理等
參觀 ASMPT 的 Critical Manufacturing 攤位,了解現代化、可配置的 Critical MES 如何支援您的生產運作,以及協助您邁向全面整合的智慧工廠之路:
– 完整的物料追溯性 —— 採用 E142 標準,追蹤跨多腔體設備叢集(multi-chamber equipment clusters)的生產過程,精確至晶圓,甚至細至晶粒。
– 全方位的資源追蹤與無縫的設備整合
– 動態配方管理與條件式流程 —— 透過內建邏輯,自動因應任何參數變化,無需人工干預。